Характеристики товара и описание
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
Эта книга будет изготовлена в соответствии с Вашим заказом по технологии Print-on-Demand.
Под общей редакцией члена-корреспондента РАН проф. Ю. А. Чаплыгина.
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.
3-е издание.
Автор: Королёв Михаил Александрович
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Серия: -
Год: 2015
Тип обложки: мягкая обложка
Кол-во страниц: 400
ISBN:
